超聲波拋光機用壓電陶瓷晶片

fr(MHz)

Kr

HF-28/2MC

φ24/φ8× 5

64

0.43

HF-25/1MC

φ30/φ10×5

50

0.43

HF-20/1MC

φ35/φ16×5

0

0.42